非接触法晶圆电阻率成像测试仪

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

试验期间不应岀现击穿和表面闪络，本试验用来检査伞套材料的点燃及自熄性能。本试验应按照IEC60707中的FV方法进行。如果试样属于IEC60707所确定的FV-0范围，则试验通过。除芯棒材料试验试品外,设计试验试品的伞套材料应相同。在绝缘子较大伞裙,裁取的胶片表面应没有或存在较小的划伤、凸起、凹坑、气泡、标记、修补痕迹等缺陷。胶片数量应不少于5片。将胶片修整成长度不小于60mm,宽度为40mm〜50mm,厚度为2mm〜6mm的形状。

修整时应尽可能少地裁削胶片，并且进行厚度修整时只能对其一个伞面（一般为倾斜角较大的一面）切削，胶片的边沿可以不是直线,但应在以上规定的范围内。将裁好的胶片放置于试样制备模具中，放置时应保证待试样长度方向距模腔底边约5mm〜10mm,宽度方向应使试样放在中间，厚度方向将未修面紧贴模具底面，然后均匀放置适量胶料（此胶料应与伞裙胶料相同或相近），按混炼胶硫化工艺成型、制样，制备的试样表面应无裂痕，未修整表面中部不应有制样用胶料，必要时可在待试样亲和界面涂偶联剂

非接触法晶圆电阻率成像测试仪

非接触法晶圆电阻率成像测试仪