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电学性能检测仪器

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非接触法晶圆电阻率成像测量仪

非接触法晶圆电阻率成像测量仪

型    号: GEST-201
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非接触法晶圆电阻率成像测量仪主要通过四探针法测试单晶硅电阻率,具有自动定位的三坐标自动测量系统,可以自由设置测量点数量,自动测试完成,可以对测试出的数据进行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。

GEST-201非接触法晶圆电阻率成像测量仪的详细资料:

产品名称:全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成:

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪:

1.1电阻率:0.00001~20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻:0.00001~20000Ω.cm;

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度:±0.1% ;

3、恒流源:

3.2电流误差:±0.5%

三坐标测试移动品台:

2、X轴Y轴*小位移量:0.125MM

四探针测试电极:

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数:可以设定

4、 2D成像:测试完成后,可以立体成像

 

 

 

 

试品应(纤维垂直)地放入玻璃容器内,置于一层直径相同(1mm〜2mm)的钢球或玻璃球上,将1%的品红乙醇溶液(1g的品红放入100g的乙醇中)染料倒入容器中,使其液面应比球层的上平面高2mm〜3mm,染料可因毛细作用而从芯棒内上升,测量染料上升贯通试品的时间。染料上升贯通试品所用的时间应长于15min。在流动的冷水下,用有金刚石层的圆锯片从正常生产的绝缘子上沿与芯棒轴线成90°的方向切割下6只试品。

试品长度应为30mm土0.5mm。切面应用细砂布打光(砂粒大小为180目),两端的切面应是清洁和平行的。试品的表面在煮沸前应先用异丙醇清洗并用滤纸擦净,将试品放入含0.1%重量NaCl的去离子水的玻璃容器内煮沸,在同一容器中,只能放入所切割的同一种芯棒材料试品在一起煮沸。沸腾容器示例见图2。在沸腾时间到了以后,将试品从玻璃容器中取出,在周围温度下置于装满自来水的另一玻璃容器中,持续至少15min。在试品自沸腾容器中取出后3h内进行按5.4.2.3的电压试验。电压试验应在图3和图4所示的装置中进行。注:对较大直径的试品,电极的直径也应加大,电极直径至少应比试品直径大20mm。T1——调压器;T2—变压器;

V—电压测量装置;mA毫安表;Pr——毫安表的保护;S试样和电极。在电压试验前,将试品从玻璃容器中取岀,并用滤纸将其表面擦干。然后将每一只试品置于二电极间。试验电压以大约1kV/s的速度升到12kV0维持12kV电压1min,然后降低和除去电压

 

 

 

 

 

非接触法晶圆电阻率成像测量仪

非接触法晶圆电阻率成像测量仪