非接触法晶圆电阻率成像测量仪

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

试品应（纤维垂直）地放入玻璃容器内，置于一层直径相同（1mm〜2mm）的钢球或玻璃球上，将1%的品红乙醇溶液（1g的品红放入100g的乙醇中）染料倒入容器中，使其液面应比球层的上平面高2mm〜3mm,染料可因毛细作用而从芯棒内上升，测量染料上升贯通试品的时间。染料上升贯通试品所用的时间应长于15min。在流动的冷水下，用有金刚石层的圆锯片从正常生产的绝缘子上沿与芯棒轴线成90°的方向切割下6只试品。

试品长度应为30mm土0.5mm。切面应用细砂布打光（砂粒大小为180目），两端的切面应是清洁和平行的。试品的表面在煮沸前应先用异丙醇清洗并用滤纸擦净,将试品放入含0.1%重量NaCl的去离子水的玻璃容器内煮沸，在同一容器中，只能放入所切割的同一种芯棒材料试品在一起煮沸。沸腾容器示例见图2。在沸腾时间到了以后，将试品从玻璃容器中取出，在周围温度下置于装满自来水的另一玻璃容器中，持续至少15min。在试品自沸腾容器中取出后3h内进行按5.4.2.3的电压试验。电压试验应在图3和图4所示的装置中进行。注：对较大直径的试品，电极的直径也应加大，电极直径至少应比试品直径大20mm。T1——调压器；T2—变压器；

V—电压测量装置；mA毫安表；Pr——毫安表的保护；S试样和电极。在电压试验前，将试品从玻璃容器中取岀，并用滤纸将其表面擦干。然后将每一只试品置于二电极间。试验电压以大约1kV/s的速度升到12kV0维持12kV电压1min,然后降低和除去电压

非接触法晶圆电阻率成像测量仪

非接触法晶圆电阻率成像测量仪