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电学性能检测仪器

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非接触法晶圆电阻率成像测定仪

非接触法晶圆电阻率成像测定仪

型    号: GEST-201
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非接触法晶圆电阻率成像测定仪主要通过四探针法测试单晶硅电阻率,具有自动定位的三坐标自动测量系统,可以自由设置测量点数量,自动测试完成,可以对测试出的数据进行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。

GEST-201非接触法晶圆电阻率成像测定仪的详细资料:

产品名称:全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成:

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪:

1.1电阻率:0.00001~20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻:0.00001~20000Ω.cm;

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度:±0.1% ;

3、恒流源:

3.2电流误差:±0.5%

三坐标测试移动品台:

2、X轴Y轴*小位移量:0.125MM

四探针测试电极:

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数:可以设定

4、 2D成像:测试完成后,可以立体成像

 

 

 

 

 

 

将未修整面按GB/T6553要求打磨处理。安装时,应将长度方向中裁取胶片较靠近底边的一端联接在高压电极,且此电极应在未修整面上,上下电极间至少65%的面积应为待试样。

试验方法和结果判定依据GB/T6553,试验采用恒压法A,耐受电压4.5kV,蚀损深度不应大于2.5mm。试验结果仅当蚀损区域在裁取的伞裙胶料内有效(蚀损深度大于2.5mm的部分可以是制样用胶料),否则应重新补做该号试品。注:如果绝缘子的伞套裁取不到以上规格的胶片时,应采用正常生产使用的胶料,按正常生产的硫化条件制成符合GB/T6553规定的试样。一种绝缘子型式在电气上是由电弧距离、爬电距离、伞倾角、伞径和伞间距所确定的。一种型式符合上述准则的绝缘子,其电气型式试验只需进行一次。如果引弧装置是该型式绝缘子的一完整部分,则电气型式试验应带上引弧装置进行。仅当上述特性中有一项或几项改变时电气型式试验才需重新进行。

一种绝缘子型式在机械上是由芯棒直径和材料、伞套的材料和工艺、金属附件的连接方法来确定。仅当上述特性中有一项或两项都改变时机械型式试验才需重新进行。除非另有规定,按IEC60383.1993中和12进行。按IEC60383.1993中和12进行

 

 

 

 

非接触法晶圆电阻率成像测定仪

非接触法晶圆电阻率成像测定仪