碳化硅晶圆电阻率测量仪

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

此拉伸负荷应迅速而平稳从零上升到大约为额定机械负荷SML的75%,然后在30s〜90s的时间内逐渐上升到额定机械负荷SML。为从试验中获得更多的资料，除非有特殊原因（如试验机的大拉伸负荷），负荷应当一直上升到破坏负荷，如果符合下列规定，——在额定机械负荷的70%下96h试验（6.4.2a））和*额定机械负荷下1min耐受试验（6.4.2c））均无破坏发生（芯棒断裂或拉脱，或金属附件破裂）；——用6.4.2b）中所述的染色渗透法没有出现裂纹；——研究6.4.2b）中所述切成两半的情况能清楚表明开裂没有达到芯棒。用户和制造厂协商进行此试验，协商可接受的大无线电干扰水平。此试验应根据JB/T3567进行。

必要时，绝缘子应在屏蔽电场的环境中测试。抽样试验使用两种样本，Ei和秩，此两种样本的大小见下表。若被检验绝缘子多于10000只，则应将它们分成几批，每批的数量在2000〜10000只。试验结果应分别对每批作出评定。绝缘子应从该批中随机地抽取，买方有权抽取。对抽取样本进行相应的抽样试验。—尺寸检査（Ei+E0）；——验证金属附件和伞套间界面的渗透性（互）和验证额定机械负荷的试验（E。——镀锌层试验（剧）；——陡波前冲击耐受电压试验（EQ。

碳化硅晶圆电阻率测量仪

碳化硅晶圆电阻率测量仪