相关文章
Related Articles产品名称:全自动晶圆成像电阻率测试仪
一、产品概述
仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
二、仪器构成:
1、 高精度电阻率测试仪
3、 测试探头
高精度电阻率测量仪:
1.1电阻率:0.00001~20000Ω.cm (可扩展)
1.3电阻:0.00001~20000Ω.cm;
2.1量程0.01mV-2000 mV
2.3 精度:±0.1% ;
3、恒流源:
3.2电流误差:±0.5%
三坐标测试移动品台:
2、X轴Y轴*小位移量:0.125MM
四探针测试电极:
上位机软件测量成像系统
2、 测量点数:可以设定
4、 2D成像:测试完成后,可以立体成像
此拉伸负荷应迅速而平稳从零上升到大约为额定机械负荷SML的75%,然后在30s〜90s的时间内逐渐上升到额定机械负荷SML。为从试验中获得更多的资料,除非有特殊原因(如试验机的大拉伸负荷),负荷应当一直上升到破坏负荷,如果符合下列规定,——在额定机械负荷的70%下96h试验(6.4.2a))和*额定机械负荷下1min耐受试验(6.4.2c))均无破坏发生(芯棒断裂或拉脱,或金属附件破裂);——用6.4.2b)中所述的染色渗透法没有出现裂纹;——研究6.4.2b)中所述切成两半的情况能清楚表明开裂没有达到芯棒。用户和制造厂协商进行此试验,协商可接受的大无线电干扰水平。此试验应根据JB/T3567进行。
必要时,绝缘子应在屏蔽电场的环境中测试。抽样试验使用两种样本,Ei和秩,此两种样本的大小见下表。若被检验绝缘子多于10000只,则应将它们分成几批,每批的数量在2000〜10000只。试验结果应分别对每批作出评定。绝缘子应从该批中随机地抽取,买方有权抽取。对抽取样本进行相应的抽样试验。—尺寸检査(Ei+E0);——验证金属附件和伞套间界面的渗透性(互)和验证额定机械负荷的试验(E。——镀锌层试验(剧);——陡波前冲击耐受电压试验(EQ。
碳化硅晶圆电阻率测量仪
碳化硅晶圆电阻率测量仪