碳化硅晶圆电阻率测试仪

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

如果有一只试品不能满足一项试验要求，则应按照7.7重复试验程序进行重复试验。300CNVVNW只有在镀锌层试验用磁力法试验后的样本E2的绝缘子才准于运行使用。

应对图样上所给岀的尺寸进行检査，图样上给出的公差是有效的。若图样上未给出公差，则应采用第6章规定值。本试验仅对带有按GB/T4056规定的球窝联接的绝缘子进行，并按GB1001.1的规定进行检验。a）随机地从E2试品中抽出一只绝缘子，根据ISO3452用染色渗透法进行裂痕检査。检査部位包括伞套与金属附件间全部界面所涉及的区域，也包括属于金属附件的有效延伸区。-—用清洁剂将表面*预清理干净；——渗透结束后的5min内在环境温度下，在绝缘子金属附件之间施加70%额定机械负荷的拉伸负荷，此拉伸负荷应迅速而平稳地增加到SML的70%,在此值下保持1min；——除去多余渗透剂，使表面清洁干燥；——如需要可使用显影剂；

检査表面。有些伞套材料可被渗透剂渗透，在这些情况下应提供证据证明结论分析的有效性。70%额定机械负荷1min试验后，应检査试品是否出现开裂，如果出现开裂，应将伞套（必要时连同金属附件和芯棒）在显示表面开裂宽部位的中间沿垂直于开裂方向切成两半，研究两表面开裂深度。b）应在周围温度下对样本E的所有绝缘子施加拉伸负荷

碳化硅晶圆电阻率测试仪

碳化硅晶圆电阻率测试仪