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电学性能检测仪器

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碳化硅晶圆电阻率测试仪

碳化硅晶圆电阻率测试仪

型    号: GEST-201
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碳化硅晶圆电阻率测试仪主要通过四探针法测试单晶硅电阻率,具有自动定位的三坐标自动测量系统,可以自由设置测量点数量,自动测试完成,可以对测试出的数据进行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。

GEST-201碳化硅晶圆电阻率测试仪的详细资料:

产品名称:全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成:

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪:

1.1电阻率:0.00001~20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻:0.00001~20000Ω.cm;

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度:±0.1% ;

3、恒流源:

3.2电流误差:±0.5%

三坐标测试移动品台:

2、X轴Y轴*小位移量:0.125MM

四探针测试电极:

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数:可以设定

4、 2D成像:测试完成后,可以立体成像

 

 

 

 

如果有一只试品不能满足一项试验要求,则应按照7.7重复试验程序进行重复试验。300CNVVNW只有在镀锌层试验用磁力法试验后的样本E2的绝缘子才准于运行使用。

应对图样上所给岀的尺寸进行检査,图样上给出的公差是有效的。若图样上未给出公差,则应采用第6章规定值。本试验仅对带有按GB/T4056规定的球窝联接的绝缘子进行,并按GB1001.1的规定进行检验。a)随机地从E2试品中抽出一只绝缘子,根据ISO3452用染色渗透法进行裂痕检査。检査部位包括伞套与金属附件间全部界面所涉及的区域,也包括属于金属附件的有效延伸区。-—用清洁剂将表面完全预清理干净;——渗透结束后的5min内在环境温度下,在绝缘子金属附件之间施加70%额定机械负荷的拉伸负荷,此拉伸负荷应迅速而平稳地增加到SML的70%,在此值下保持1min;——除去多余渗透剂,使表面清洁干燥;——如需要可使用显影剂;

检査表面。有些伞套材料可被渗透剂渗透,在这些情况下应提供证据证明结论分析的有效性。70%额定机械负荷1min试验后,应检査试品是否出现开裂,如果出现开裂,应将伞套(必要时连同金属附件和芯棒)在显示表面开裂宽部位的中间沿垂直于开裂方向切成两半,研究两表面开裂深度。b)应在周围温度下对样本E的所有绝缘子施加拉伸负荷

 

 

 

碳化硅晶圆电阻率测试仪

碳化硅晶圆电阻率测试仪