晶圆非接触法电阻率测量仪

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

直到按下面的次序开始验证试验。下面的各个试验（5.1..1.4.2和5.1.4.3）的间隔时间应使得此验证试验在48h内完成。对每只试品的伞套进行外观检査，不允许有开裂。在试品上布置电极（该电极由夹片构成，例如可由大约20mm宽，厚度不超过1mm的窄铜条作成）。此电极应牢固地紧绕在伞裙间的伞套上，形成约等于或小于500mm的区段。若绝缘子的绝缘长度小于或等于500mm,就将电压直接加到原有的金属附件上。将陡度不小于1000kv/jxs,且不大于1500kV/咨的冲击电压施加到两个相邻的电极间或将电压施加到金属附件与相邻的电极上，每个区段应分别承受25次正极性冲击和25次负极性冲击。每次的冲击应引起电极间的外部闪络。

而不应产生击穿，然后撤去构成区段所用的电极。按照5.1.2所给出的程序对每一只试品再次测定干工频闪络电压。每一只试品的闪络电压平均值不得低于按5.1.2测得值的90%。5.1.2测得它的平均闪络电压的80%的电压，持续30min。试验不应产生击穿，用在生产线上制成的6只绝缘子进行试验,绝缘子的长度（金属附件至金属附件的绝缘距离）应不小于800mm,两端金属附件应与生产线上的绝缘子所采用的相同。芯棒的端部连接区应相同，但芯棒端部以外的部分可作适当修改，以避免联接的破坏

晶圆非接触法电阻率测量仪

晶圆非接触法电阻率测量仪