非接触半绝缘SiC电阻率测试仪

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

逐个试验汇总列于附录D。每只绝缘子上要标明制造厂的名称或商标以及制造年份。此外，每只绝缘子上应标明额定机械负荷（SML）。这些标志应清晰和牢固。每只绝缘子都应进行外观检査。在绝缘件上安装的金属附件应符合图样。绝缘子的颜色应与图样上规定的接近。——面积不大于25mm£（但总缺陷面积不超过绝缘子总表面的0.2%）,并且深度小于1mm的表面缺陷。每只绝缘子应在环境温度下，耐受相应于至少为50%额定机械负荷的逐个试验负荷。

且持续至少10s。复合绝缘子机械拉伸负荷——时间试验的背景和所收集到的试验资料，在A.5参考文献〔1〕中。通常，承受机械负荷的复合绝缘子的机械强度随时间而降低，降低程序取决于负荷的大小和持续时间，这是由于芯棒所使用的材料与传统的绝缘子相反，通常有蠕变的倾向。复合绝缘子的机械强度与负荷施加时间的对数关系曲线可以假定为一条具有负值斜率的直线。时间刻度按对数关系刻度。一等长区段的两界限间的比为10（如1min〜10min）。在线路的使用寿命内，施加到绝缘子上的负荷也可以用类似的方法表示为负荷——时间值。本试验的目的是可以让使用者检验在线路使用期，估计平均50年内预期负荷下绝缘子机械耐受——时间曲线的状况。

——设计试验:“芯棒负荷——时间试验”，以检验绝缘子强度——时间曲线的大斜率（见5.2）；——型式试验:“机械负荷——时间试验”，此设计和型式试验可以证实绝缘子的强度一时间曲线具有一个能接受的大斜率

非接触半绝缘SiC电阻率测试仪

非接触半绝缘SiC电阻率测试仪