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全自动晶圆成像电阻率测量仪

全自动晶圆成像电阻率测量仪

型    号: GEST-201
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全自动晶圆成像电阻率测量仪主要通过四探针法测试单晶硅电阻率,具有自动定位的三坐标自动测量系统,可以自由设置测量点数量,自动测试完成,可以对测试出的数据进行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。

GEST-201全自动晶圆成像电阻率测量仪的详细资料:

全自动晶圆成像电阻率测试仪

产品名称:全自动晶圆成像电阻率测试仪

产品型号:GEST-201

一、产品概述

本仪器主要通过四探针法测试单晶硅电阻率,具有自动定位的三坐标自动测量系统,可以自由设置测量点数量,自动测试完成,可以对测试出的数据进行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试

二、仪器构成:

本仪器主要组成部分有:

1、 高精度电阻率测试仪

2、 三坐标测试移动平台

3、 测试探头

4、 上位机软件测量成像系统

高精度电阻率测量仪:

1、测量范围

1.1电阻率:0.00001~20000Ω.cm (可扩展)

1.2电导率:0.00005~10000 s/cm;

1.3电阻:0.00001~20000Ω.cm;

2、电压测量:

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力:10μV;

2.3 精度:±0.1% ;

2.4显示:触摸屏操作显示

3、恒流源:

3.1电流输出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2电流误差:±0.5%

3.3各档连续可调

三坐标测试移动品台:

1、X轴Y轴移动行程:120MM

2、X轴Y轴*小位移量:0.125MM

3、R轴*小分度值:0.0125°C

四探针测试电极:

1、间距:1±0.01mm;
2、针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 
3、机械游移率:≤0.3%;
4、探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
5、 探针压力:5~16 牛顿(总力);

上位机软件测量成像系统

1、 测量方式:弧度测量、角度测量

2、 测量点数:可以设定

3、 测试数据:实时同步显示

4、 2D成像:测试完成后,可以立体成像

5、 数据导出:可以保存测试数据生成电子版本

 

试样放入测试容器,保证边缘完好密封。7.3.2对质量保证试验,在规定流量范围内任意取*量;对于结构特性试验,在规定流量范围内分别取五个不同的流量。7.3.3待流量稳定后按下启动按钮,仪器即可打印出厚度、流量、差压、透气率。7.4试验条件应与试样停放条件一致。注:1如果要用比阻抗表示结果,可将表中K以R,取代。2门的数值等于试样的数量。3对于给定材料的质量保证试验,只选一个流速。8.5质量保证试验,必须给出一组试样的算术平均值K和表观密度的算术平均及实验中使用的流速。0.005m-s-1<;«<;注:试验结果K可用R取代。8.6非均匀试样。

用R取代R,(或K),按8.5条、8.6条表示结果。复合绝缘子至少由两种绝缘件:即芯棒和伞套所构成,并带有金属附件。例如复合绝缘子可由各单个伞裙安装在芯棒上构成,此时中间伞套可有也可没有;或者,可将伞套整件或分成数件,直接模压或浇注在芯棒上。芯棒是复合绝缘子的内绝缘件,是设计用来保证其机械特性的,芯棒通常由玻璃纤维浸渍于树脂制成,以达到大拉伸强度。——对圆形截面芯棒是其几何直径;——对非圆形横截面芯棒是27AA.A为横截面面积。伞套是绝缘子的外部绝缘件,用来提供必要的爬电距离和保护芯棒不受气候影响。由绝缘材料制成的中间伞套是伞套的一部分。界面是复合绝缘子不同材料或不同部件之间的表面。在大多数的复合绝缘子中存在有许多界面。

 

 

 

全自动晶圆成像电阻率测量仪

全自动晶圆成像电阻率测量仪