全自动晶圆成像电阻率测量仪

全自动晶圆成像电阻率测试仪

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

产品型号：GEST-201

一、产品概述

本仪器主要通过四探针法测试单晶硅电阻率，具有自动定位的三坐标自动测量系统，可以自由设置测量点数量，自动测试完成，可以对测试出的数据进行2D成像，是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试

二、仪器构成：

本仪器主要组成部分有：

1、 高精度电阻率测试仪

2、 三坐标测试移动平台

3、 测试探头

4、 上位机软件测量成像系统

高精度电阻率测量仪：

1、测量范围

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.2电导率：0.00005～10000 s/cm；

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2、电压测量：

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力：10μV；

2.3 精度：±0.1% ；

2.4显示：触摸屏操作显示

3、恒流源：

3.1电流输出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2电流误差：±0.5%

3.3各档连续可调

三坐标测试移动品台：

1、X轴Y轴移动行程：120MM

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

3、R轴*小分度值：0.0125°C

四探针测试电极：

1、间距：1±0.01mm；
2、针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 
3、机械游移率：≤0.3％；
4、探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
5、 探针压力：5～16 牛顿(总力)；

上位机软件测量成像系统

1、 测量方式：弧度测量、角度测量

2、 测量点数：可以设定

3、 测试数据：实时同步显示

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

5、 数据导出：可以保存测试数据生成电子版本

试样放入测试容器,保证边缘完好密封。7.3.2对质量保证试验,在规定流量范围内任意取*量;对于结构特性试验，在规定流量范围内分别取五个不同的流量。7.3.3待流量稳定后按下启动按钮，仪器即可打印出厚度、流量、差压、透气率。7.4试验条件应与试样停放条件一致。注：1如果要用比阻抗表示结果，可将表中K以R,取代。2门的数值等于试样的数量。3对于给定材料的质量保证试验，只选一个流速。8.5质量保证试验，必须给出一组试样的算术平均值K和表观密度的算术平均及实验中使用的流速。0.005m-s-1＜；«＜；注：试验结果K可用R取代。8.6非均匀试样。

用R取代R,（或K）,按8.5条、8.6条表示结果。复合绝缘子至少由两种绝缘件：即芯棒和伞套所构成，并带有金属附件。例如复合绝缘子可由各单个伞裙安装在芯棒上构成，此时中间伞套可有也可没有;或者，可将伞套整件或分成数件，直接模压或浇注在芯棒上。芯棒是复合绝缘子的内绝缘件，是设计用来保证其机械特性的，芯棒通常由玻璃纤维浸渍于树脂制成，以达到大拉伸强度。——对圆形截面芯棒是其几何直径；——对非圆形横截面芯棒是27AA.A为横截面面积。伞套是绝缘子的外部绝缘件，用来提供必要的爬电距离和保护芯棒不受气候影响。由绝缘材料制成的中间伞套是伞套的一部分。界面是复合绝缘子不同材料或不同部件之间的表面。在大多数的复合绝缘子中存在有许多界面。

全自动晶圆成像电阻率测量仪

全自动晶圆成像电阻率测量仪