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电学性能检测仪器

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半绝缘半导体电阻率测定仪

半绝缘半导体电阻率测定仪

型    号: GEST-201
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半绝缘半导体电阻率测定仪主要通过四探针法测试单晶硅电阻率,具有自动定位的三坐标自动测量系统,可以自由设置测量点数量,自动测试完成,可以对测试出的数据进行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。

GEST-201半绝缘半导体电阻率测定仪的详细资料:

产品名称:全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成:

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪:

1.1电阻率:0.00001~20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻:0.00001~20000Ω.cm;

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度:±0.1% ;

3、恒流源:

3.2电流误差:±0.5%

三坐标测试移动品台:

2、X轴Y轴*小位移量:0.125MM

四探针测试电极:

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数:可以设定

4、 2D成像:测试完成后,可以立体成像

 

 

 

 

b)冲击摆锤(由摆杆和锤体组成);c)试样夹具(由固定钳口和活动钳口及底板和旋转手轮等组成);d)指示装置(标度盘式或数显式);e)摆锤释放机构(电动或手动)。试验机的特性及基本参数应符合表1的规定。a)室温10t~35X:范围内;b)相对湿度<80%;c)牢固地安装在坚固的基础上,该基础的质量应至少为所用大摆锤质量的40倍,其水平度为0.2/1000;d)在周围无振动、无腐蚀性介质的环境中。试验机机架应具有足够的刚性,能安装摆轴、摆锤支承机构、试样夹具和指示装置;底座应坚固并有供试验机安装调整的水平基准面或水平指示装置。钳口、试样和摆锤冲击刀刃的相互位置关系应符合图2的规定。虎钳式试样夹具由固定钳口和活动钳口组成。

5.4.1固定钳口与活动钳口上平面的高度应相等,允许偏差为士0.08mm。为0.2mm±0.1mm。5.4.2钳口两夹持面的平行度在0.025mm以内。5.4.3钳口两夹持面与夹具上平面应垂直,5.4.4钳口的洛氏硬度不应低于58HRC,其表面粗糙度参数R.的大值为0.8^m。冲击摆锤由摆杆和带冲击刀的锤体组成。摆锤通过摆杆的一端与摆轴连接,摆杆应具有足够的刚性。5.5.2摆锤冲击刀刃的角度为75',摆锤冲击刀刃的圆弧面曲率半径Ri为0.8mm±0.2mm

 

 

 

 半绝缘半导体电阻率测定仪

半绝缘半导体电阻率测定仪